日本g-freude非接觸式鏡片中心厚度測量機CT-Gauge
距離初的模型已經(jīng)過去了五年。在那段時間里,我們克服了許多問題,?對機械和軟件進行了全面改進,進一步擴展了功能。
1) 裝置外形(測量壁厚的原因)
目前,圖像質(zhì)量正在從4K向8K轉(zhuǎn)變,光學(xué)系統(tǒng)的性能也越來越嚴峻。在這樣的技術(shù)背景下,除了表面形狀和偏心精度外,還規(guī)定了嚴格的中心厚度。
通常,當(dāng)透鏡壁厚偏離設(shè)計值時,球差會增加,特別是對于微透鏡,壁厚誤差會導(dǎo)致球差擴大和焦點位置波動。然而,測量鏡片的中心厚度是一個相當(dāng)困難的測量目標,并且沒有建立測量方法。
原因是測量點只有一個,難以明確定位。另外,如果可能的話,我想避免接觸測量,這可能會導(dǎo)致劃痕。尤其是半導(dǎo)體曝光機用大口徑鏡頭,玻璃材質(zhì)是有原因的,但要求光學(xué)性能高,壁厚公差嚴格。
測量的另一個原因是我們響應(yīng)了在鏡片加工過程中(特別是在初始階段)測量壁厚的要求。,軟玻璃材料被稱為難玻璃材料,由于晶體取向問題,具有被快速刮削的特性。此外,材料成本高,我們希望減少加工錯誤。因此,需要一種即使表面為磨砂玻璃也可以測量壁厚的設(shè)備,在我們的實驗中,即使使用拋光砂 80 #也可以測量。
日本g-freude非接觸式鏡片中心厚度測量機CT-Gauge
◆ 產(chǎn)品配置(以下為標準配置規(guī)格)
1)高精度非接觸式位移計單元(2個)
2)精密XY掃描平臺
3)位移計賬驅(qū)動機構(gòu)
4)位移計4軸調(diào)整單元(2臺) )? FIX 載物臺規(guī)格)
5) 新開發(fā)的“內(nèi)置陶瓷
位移計單元(帶獨立傾斜調(diào)整機構(gòu))” 6) 通用樣品夾持機構(gòu)(Φ10 至 100 )
7) 控制盒
8) 筆記本電腦用于分析
9)的基礎(chǔ)上的3D地形和透鏡頂點分析算法定制軟件
HYBIRD峰值分析系統(tǒng)(HyPAS)安裝
10)布線電纜
* 1樣品架需要Φ10或更?。▎为毘鍪郏┑臉悠?br />* 2抗振動支架不是特別必要,但好有一個操作環(huán)境溫度恒定的空調(diào)房間。