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lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計(jì)

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更新日期：2024-03-24

簡(jiǎn)要描述：

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質(zhì)量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計(jì)
品牌其他品牌類型超聲波
測(cè)量范圍1m3/h

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC

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高溫質(zhì)量流量控制器，適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。

通過將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離，可以在高溫下控制氣體。

塊體采用SUS-316L，金作為密封材料，應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體。

作為選項(xiàng)，還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和專用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。

特點(diǎn)

  • 最高工作溫度最高120°C

  • 金屬密封件

  • 清潔（保證顆粒）

  • RS-485 通信

選擇

  • 兼容液化氣

  • 加熱塊

使用示例

液化氣、升華氣流量控制

CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產(chǎn)生的氣體較少，因此很難使用MFC控制流量，MFC使用壓差來流動(dòng)氣體。 因此，MFC的工作壓力是通過加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來確保的。 MC-3000L-TC 能夠進(jìn)行高溫控制和低壓差工作壓力，是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC

規(guī)格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標(biāo)準(zhǔn)最高 F.S.密封
低80~100°C50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLM金
高100~120°C
50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLM金








* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過選項(xiàng)進(jìn)行更改。



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