lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C

用于 EtherCAT 通信的高性能質(zhì)量流量控制器。

用于半導(dǎo)體工藝的高性能質(zhì)量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合規(guī)的，可以通過EtherCAT通信進(jìn)行控制，EtherCAT通信用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的高速傳輸系統(tǒng)。

半導(dǎo)體制造工藝所需的金屬密封件和LINTEC的原始環(huán)境溫度補(bǔ)償流量傳感器作為標(biāo)準(zhǔn)安裝，并且可以作為液化氣支架等選項(xiàng)添加。

使用示例

EtherCAT通信設(shè)備的通信統(tǒng)一

越來越多的半導(dǎo)體制造設(shè)備配備了EtherCAT通信（數(shù)字I / F），用于高速控制機(jī)械臂等運(yùn)輸系統(tǒng)。 EtherCAT通信有65，536個(gè)節(jié)點(diǎn)，MFC的所有測量系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)元件都可以與EtherCAT通信統(tǒng)一。

lintec以太網(wǎng)CAT質(zhì)量流量控制器MC-5000C

規(guī)格

* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過選項(xiàng)進(jìn)行更改。