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腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

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更新日期：2024-03-19

簡(jiǎn)要描述：

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。

腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器
類型數(shù)字壓力表

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng)，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

  • 高耐腐蝕性
    對(duì)應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進(jìn)行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其 出色的耐腐蝕性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和優(yōu)擬合線的偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
  • 測(cè)定范圍寬
    表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），壓的壓力范圍為0～2,586torr。
  • 使用壽命長(zhǎng)
    各測(cè)量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測(cè)試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規(guī)格

 

型號(hào) 表壓※壓
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
壓力范圍KPa0～172.40～344.70～689.50～1,378.90～3,447.30～20,6840～103.40～172.40～344.7
kgf/cm20～1.760～3.520～7.030～14.060～35.160～210.9---
torr------0～7760～1,2930～2,586
精度（％ 全量程)±0.5％±0.25％±0.5％

 

※所有的表壓類型可以連成。

 

過載壓力全量程×2
激勵(lì)電源電壓DC 5V(MAX 6V)
保存溫度范圍-20℃～93℃（未通電）
溫度補(bǔ)償范圍-1℃～71℃
溫度漂移±0.05%　FS/℃
信號(hào)輸出100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V)
跨度100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV
偏移量0mV ± 10mV
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
氣體（液體）接觸部分哈司特鎳合金®
連接零件1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

 

 

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